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0190 - 41326 是 MKS ASTRON2L RPS 半导体远程等离子源的产品编号。以下是该产品的相关信息：


  • 应用领域：广泛应用于半导体各制程的清洁环节，可为 CVD 室清洁、FPD（平板显示器）提供所需的反应气体室清洁、太阳能室清洁、光刻胶堆灰、氧化、氮化和化学消减等。
  • 技术参数：AC 输入为 208V~，3 phase~，50/60Hz，30A；水冷水压 100PSIG（Max.）；通信接口为 RS - 232/Cust I/O。



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